ZhenAn, Aké sú základné metódy bežne používané na testovanie zŕn cieľového materiálu?

ZhenAn, aké sú základné metódy bežne používané na testovanie zŕn cieľového materiálu?

Terčové materiály sú typicky polykryštalické s veľkosťou zŕn v rozmedzí od mikrónov po milimetre. Čím jemnejšie zrná, tým väčšia je oblasť hraníc zŕn a tým väčší vplyv na výkon. Pre rovnaký materiál terča majú terče s jemnými zrnami vyššiu rýchlosť rozprašovania ako terče s hrubými zrnami. Terče s menšími odchýlkami veľkosti zrna (rovnomerné rozloženie) vytvárajú rovnomernejšie rozloženie hrúbky v naprašovaných filmoch. Výskum zistil, že ak je veľkosť zrna titánového terča kontrolovaná pod 100 μm a odchýlka vo veľkosti zrna sa udržiava v rámci 20 %, kvalita výsledného naprašovaného filmu sa môže zlepšiť. Výrazné zlepšenie.

Tri základné metódy testovania cieľovej veľkosti zrna
1. Metóda porovnávania: Metóda porovnávania nevyžaduje počítanie zŕn alebo úsekov. Pri porovnaní so štandardnou sériou hodnotiacich tabuliek hodnotenie veľkosti zŕn pomocou porovnávacej metódy vo všeobecnosti vykazuje určitý stupeň odchýlky (±0,5 úrovne). Reprodukovateľnosť a reprodukovateľnosť hodnotených hodnôt je zvyčajne ±1 úroveň.

2. Plošná metóda: Plošná metóda počíta počet zŕn v rámci známej plochy a používa počet zŕn na jednotku plochy na určenie stupňa zrnitosti. Presnosť tejto metódy je funkciou vypočítanej veľkosti zrna a pri správnom počítaní je možné dosiahnuť presnosť ±0,25 úrovne. Výsledky plošnej metódy sú neskreslené, s reprodukovateľnosťou menšou ako ±0,5 úrovne. Kľúč na určenie veľkosti zŕn pomocou plošnej metódy spočíva v počítaní zŕn, ktoré jasne vymedzujú hranice zŕn.

3. Metóda úsekov: Počet úsekov sa vypočíta spočítaním počtu úsekov, kde segment testovacej čiary (alebo mriežka) známej dĺžky pretína hranice zŕn. Trieda veľkosti zrna sa určuje pomocou počtu priesečníkov na jednotku dĺžky. Presnosť metódy zachytávania je funkciou počtu vypočítaných zachytení alebo zachytení a možno ju dosiahnuť efektívnou štatistickou analýzou. presnosť ±0,25 úrovne. Výsledky merania metódou zachytávania sú bez skreslenia-a reprodukovateľnosť a reprodukovateľnosť sú na úrovni nižšej ako ±0,5. Pre rovnakú úroveň presnosti metóda zachytávania nevyžaduje presné označovanie bodov alebo čísiel zachytávania, takže je rýchlejšia ako metóda oblasti.