ZhenAn Stručne opíšte faktory, ktoré ovplyvňujú rýchlosť depozície cieľového náteru?

ZhenAn stručne popíšte faktory, ktoré ovplyvňujú rýchlosť depozície cieľového povlaku?

Magnetrónové naprašovanie je fyzikálna metóda nanášania pár, ktorá môže nanášať rôzne materiály vrátane kovov, zliatin a keramiky pomocou špeciálne vytvoreného magnetického poľa aplikovaného na diódový rozprašovací terč. Rýchlosť nanášania alebo rýchlosť tvorby filmu je kľúčovým parametrom na meranie účinnosti magnetrónového naprašovacieho stroja. Množstvo faktorov ovplyvňuje rýchlosť nanášania, vrátane typu pracovného plynu, tlaku pracovného plynu, teploty rozprašovacieho terča a intenzity magnetického poľa. Tri kľúčové faktory ovplyvňujú rýchlosť nanášania povlakov magnetrónového naprašovacieho terča: naprašovacie napätie, prúd a výkon.

Rozprašovacie napätie
Vplyv napätia naprašovania na rýchlosť tvorby filmu má nasledujúci vzorec: čím vyššie napätie, tým rýchlejšia je rýchlosť naprašovania a tento efekt je postupný a postupný v rámci energetického rozsahu potrebného na nanášanie naprašovaním. Z faktorov ovplyvňujúcich koeficient naprašovania sú najdôležitejšie rozprašovací terč a rozprašovací prúd. Po plyne je skutočne dôležité vybíjacie napätie. Všeobecne povedané, pri normálnom magnetrónovom rozprašovaní platí, že čím vyššie je vybíjacie napätie, tým väčší je koeficient rozprašovania, čo znamená, že dopadajúce ióny majú vyššiu energiu. Výsledkom je, že atómy z pevného terča sa ľahšie rozprašujú a ukladajú na substrát za vzniku tenkého filmu.

Prúd rozprašovania
Prúd rozprašovania magnetrónového terča je úmerný iónovému prúdu na povrchu terča a je preto kľúčovým faktorom ovplyvňujúcim rýchlosť naprašovania. Všeobecným pravidlom magnetrónového naprašovania je, že rýchlosť nanášania je najrýchlejšia pri optimálnom tlaku plynu (ktorý sa mení v závislosti od materiálu terča a projektu naprašovania). Optimálny tlak plynu je teda vhodný na základe výťažku naprašovania, bez toho, aby bola ohrozená kvalita filmu a spĺňali požiadavky zákazníka. Existujú dva spôsoby, ako zmeniť rozprašovací prúd: zmenou prevádzkového napätia alebo pracovného tlaku plynu.

Výkon naprašovania Vplyv výkonu naprašovania na rýchlosť vylučovania je podobný ako u napätia naprašovania. Všeobecne povedané, zvýšenie výkonu rozprašovania magnetrónového terča môže zvýšiť rýchlosť tvorby filmu. Nie je to však univerzálne pravidlo. Keď je rozprašovacie napätie magnetrónového terča nízke (napríklad okolo 200 voltov) a rozprašovací prúd je veľký, hoci priemerný rozprašovací výkon nie je nízky, ióny nemôžu byť rozprašované a nemôžu sa ukladať. Predpokladom je, že rozprašovacie napätie aplikované na magnetrónový terč je dostatočne vysoké na to, aby energia iónov pracovného plynu v elektrickom poli medzi katódou a anódou bola dostatočne väčšia ako "prah energie naprašovania" terča.