Aké opatrenia by sa mali prijať počas cieľovej inštalácie, ako vysvetľuje ZhenAn?

Oct 13, 2025

Zanechajte správu

ZhenAn 4N Tantalum Ta Pure Metal Target Big Size Tantalum Sputtering Target Materials

Aké opatrenia by sa mali prijať počas cieľovej inštalácie, ako vysvetľuje ZhenAn?

 

Najdôležitejším opatrením pri inštalácii terča je zabezpečenie dobrého tepelného spojenia medzi terčom a chladiacou lištou naprašovacej pištole.

 

Silné zdeformovanie chladiacej dosky alebo nosnej dosky môže spôsobiť prasknutie alebo ohnutie terča počas inštalácie. To môže významne ovplyvniť tepelnú vodivosť od podkladovej dosky k terču, čím sa zabráni rozptylu tepla počas naprašovania a v konečnom dôsledku spôsobí prasknutie alebo vykoľajenie terča.

jedno{0}}riešenie

profesionálny tím

vysoká kvalita

 

Na zabezpečenie primeranej tepelnej vodivosti možno medzi chladiacu dosku katódy a terč umiestniť vrstvu grafitového papiera. Starostlivo skontrolujte a overte rovinnosť chladiacej lišty naprašovacej pištole a uistite sa, že tesniaci krúžok je vždy na svojom mieste.

 

Kvôli čistote použitej chladiacej vody a nečistotám, ktoré sa môžu vytvárať počas prevádzky zariadenia a ktoré sa budú usadzovať v nádrži katódovej chladiacej vody, je potrebné nádrž katódovej chladiacej vody pri inštalácii cieľového materiálu skontrolovať a vyčistiť, aby sa zabezpečila hladká cirkulácia chladiacej vody a aby nebol zablokovaný vstup a výstup.

 

Niektoré konštrukcie katódy majú malú medzeru s anódou, takže pri inštalácii materiálu terča je potrebné zabezpečiť, aby nedošlo ku kontaktu medzi katódou a anódou a žiadnym vodičom, inak dôjde ku skratu.

 

Navštívtehttps://www.zhenanmetal.comsa dozviete viac o produkte. Ak sa chcete dozvedieť viac o cene produktu alebo máte záujem o kúpu, pošlite e-mail na info@zaferroalloy.com. Hneď ako uvidíme vašu správu, budeme vás kontaktovať.

Získajte cenovú ponuku ešte dnes