Čo je kovový terč?

Čo je kovový terč?

Terčový materiál je jedným z hlavných materiálov na prípravu tenkých vrstiev. Používa sa hlavne v integrovaných obvodoch, plochých displejoch, solárnych článkoch, záznamových médiách, inteligentnom skle atď., A má vysoké požiadavky na čistotu a stabilitu materiálu.

Princíp činnosti materiálu terčov naprašovania: Naprašovanie je jednou z hlavných technológií prípravy tenkovrstvových materiálov. Využíva ióny generované zdrojom iónov na zrýchlenie a zhromaždenie vo vákuu, aby vytvorilo vysokorýchlostný energetický iónový lúč, ktorý bombarduje pevný povrch. Ióny a atómy na pevnom povrchu si vymieňajú kinetickú energiu, čo spôsobuje, že atómy na pevnom povrchu opúšťajú pevnú látku a ukladajú sa na povrchu substrátu. Bombardovaná pevná látka je materiál rozprašovacej terče.

Trend vývoja cieľových materiálov je: vysoká rýchlosť naprašovania, kontrola orientácie zrna, veľké rozmery a kov vysokej{0}}čistoty.

Cieľový materiál je zvarený "cieľovým polotovarom" a "zadnou doskou".

(1) Cieľový polotovar je materiál terča bombardovaný vysokorýchlostným iónovým lúčom-. Je to základná časť materiálu rozprašovacieho terča a zahŕňa kontrolu orientácie kovu a zŕn vysokej-čistoty. Počas procesu povliekania naprašovaním, po zasiahnutí polotovaru terča iónmi, sa jeho povrchové atómy rozprášia a rozptýlia a uložia sa na substrát za vzniku tenkého elektronického filmu.

(2) Zadná doska hrá hlavnú úlohu pri upevňovaní naprašovacieho terča, čo zahŕňa procesy zvárania. Keďže kovy s vysokou-čistotou majú nízku pevnosť, na dokončenie procesu naprašovania je potrebné nainštalovať terč na naprašovanie do špeciálneho stroja. Stroj je vo vysoko-napätí a vysoko{5}}vákuovom prostredí. Preto musí byť polotovar naprašovacieho terča z ultra-vysoko{8}}kovu vysokej čistoty spojený so zadnou doskou pomocou rôznych zváracích procesov. Zadná doska musí mať dobrú elektrickú a tepelnú vodivosť.