Podrobná aplikácia volfrámových terčov

Nov 27, 2024

Zanechajte správu

Aplikácia v oblasti polovodičov
Vo výrobe polovodičov,volfrámové cielesa používajú hlavne vo fotolitografii a technológii nanášania tenkých vrstiev. V procese fotolitografie im vysoká hustota, vysoká tvrdosť a nízka chemická reaktivita volfrámových terčíkov umožňuje poskytovať presné riadenie leptania počas plazmového leptania, znižovať zbytočné straty materiálu a zabezpečiť jemnosť a integritu vzorov obvodov. V technológii nanášania tenkých vrstiev tvoria volfrámové terčíky husté filmy prostredníctvom fyzikálnej depozície z pár (PVD) a chemickej depozície z pár (CVD). Tieto fólie majú vysokú tvrdosť a odolnosť proti opotrebeniu, čo zlepšuje mechanickú pevnosť a životnosť polovodičových prvkov. Ich vysoká vodivosť a nízka impedancia zároveň pomáhajú zlepšiť účinnosť vedenia prúdu a znížiť spotrebu energie.

Aplikácia v spalačných neutrónových zdrojoch
Volfrámové terče tiež zohrávajú kľúčovú úlohu v zariadeniach so zdrojom neutrónov. Špalačné neutrónové zdroje produkujú neutróny bombardovaním ťažkých atómových jadier vysokoenergetickými protónmi, ktoré sa používajú na štúdium mikroštruktúry a dynamických vlastností hmoty. Volfrám sa stal preferovaným materiálom v zariadeniach na jadrovú fúziu a štiepiacich neutrónových zdrojoch vďaka svojmu vysokému bodu topenia, vysokej tepelnej vodivosti a nízkej rýchlosti rozprašovania.