Tantalové terčesa zvyčajne dodávajú vo forme kotúčov alebo pravouhlých dosiek, ale môžu byť tiež vyrobené v rôznych tvaroch a veľkostiach v závislosti od špecifických požiadaviek aplikácie. Medzi jeho hlavné konštrukčné vlastnosti patria:
Vysoká čistota: zvyčajne viac ako 99,9 %, niekedy dokonca až 99,999 %. Vysoká čistota zaisťuje, že sa počas procesu nanášania tenkých vrstiev nevnesú žiadne nežiaduce nečistoty.
Rovnomernosť: Tantalové terče musia mať jednotnú mikroštruktúru, aby sa zabezpečilo rovnomerné rozloženie materiálu počas nanášania tenkého filmu.
Vysoká hustota: Rovnomernosť hustoty je rozhodujúca pre zabezpečenie stability počas nanášania.