Volfrámové terče sa široko používajú v mnohých oblastiach, najmä vrátane výroby polovodičov, zariadení so zdrojom neutrónov, fotolitografických procesov, technológie nanášania tenkých vrstiev, zariadení jadrovej fúzie atď.
Aplikácia vo výrobe polovodičov
Vo výrobe polovodičov sa volfrámové terčíky používajú hlavne vo fotolitografických procesoch a technológii nanášania tenkých vrstiev. Vysoká hustota, vysoká tvrdosť a nízka chemická reaktivita volfrámových terčíkov im umožňuje poskytovať presné riadenie leptania počas plazmového leptania, znižovať zbytočné straty materiálu a zabezpečiť jemnosť a integritu vzorov obvodov. V technológii nanášania tenkých vrstiev sa volfrámové terčíky formujú do hustých filmov pomocou fyzikálneho nanášania pár (PVD) a chemického nanášania pár (CVD). Tieto fólie majú vysokú tvrdosť a odolnosť proti opotrebeniu, čo zlepšuje mechanickú pevnosť a životnosť polovodičových prvkov. Ich vysoká vodivosť a nízka impedancia zároveň pomáhajú zlepšiť účinnosť vedenia prúdu a znížiť spotrebu energie.
Aplikácia v spalačných neutrónových zdrojoch
Volfrámové terče tiež zohrávajú kľúčovú úlohu v zariadeniach so zdrojom neutrónov. Špalačné neutrónové zdroje produkujú neutróny bombardovaním ťažkých atómových jadier vysokoenergetickými protónmi, ktoré sa používajú na štúdium mikroštruktúry a dynamických vlastností hmoty. Volfrám sa stal preferovaným materiálom pre zariadenia na jadrovú fúziu a zdroje neutrónových triesok kvôli svojmu vysokému bodu topenia, vysokej tepelnej vodivosti a nízkej rýchlosti rozprašovania. Spalačné neutrónové zdroje môžu poskytnúť širšie spektrum neutrónovej energie, čím sa rozšíri rozsah vedeckého výskumu neutrónov, najmä vo výskume materiálovej vedy. Aplikácia volfrámových terčov umožňuje študovať materiály na skladovanie vodíka, zákony reakcie batérií a vyvíjať nové materiály.