Úvod do procesu prípravy cieľov zirkónia

Apr 01, 2025

Zanechajte správu

Príprava a spracovaniezirkónové cieleZapojte viac krokov, vrátane prípravy surovín, prípravy cieľových medzerov, spracovanie do cieľových materiálov a ošetrenie pred prameňom magnetrónu. Konkrétny proces je nasledujúci:

Príprava surovín: Ako suroviny používajte čistý zirkónový prášok alebo zirkónový zliatinový prášok a čistota sa zvyčajne vyžaduje, aby bola väčšia alebo rovná 99,9%. Ak sa použije zliatinový prášok, podľa navrhnutého pomeru je potrebné rôzne proporcie prášku zirkónia a zliatiny rovnomerne zmiešané.
Stlačenie: Zmiešaný prášok je stlačený na prázdny stroj. Bežne používané metódy formovania zahŕňajú stlačenie izostatického za studena (CIP) a horúci izostatický lis (HIP). Isostatické lisovanie za studena je vhodné na stlačenie s nízkou teplotou a je vhodné na priame pritlačenie prášku; Horúce izostatické lisovanie je vhodné na vysoké teplotné lisovanie, ktoré môže ďalej eliminovať póry a nečistoty v prášku a zlepšiť hustotu.
SINTING: Stlačený prázdny je spekaný pri vysokej teplote, zvyčajne horúcim izostatickým lisovaním (bedra). Teplota a čas spekania sa musia upraviť podľa špecifického materiálu a požiadaviek na proces, zvyčajne nad 1500 stupňov. Počas procesu spekania je potrebné kontrolovať atmosféru, aby sa predišlo oxidácii a kontaminácii.
Dokončenie: Spekaný slepý blok sa spracováva do požadovaného tvaru cieľa, ako je napríklad disk, pomocou metód mechanického spracovania, ako je otáčanie, mletie a mletie. Použite zariadenia na spracovanie s vysokou presnosťou na zabezpečenie rozmerovej presnosti a kvality povrchu cieľa.
Povrchové spracovanie: Spracovaný cieľ je podrobený povrchovému spracovaniu, ako je leštenie alebo chemické leštenie, aby sa zlepšila povrchová úprava a rovnomernosť. Ultrazvukové čistenie a chemické čistenie sa používajú na odstránenie nečistôt a oxidov na povrchu.
Kontrola kvality: Pripravený zirkónový cieľ je podrobený kontrole kvality vrátane rozmerovej presnosti, drsnosti povrchu, chemického zloženia, hustoty atď. Na kontrolu použite röntgenovú difrakciu (XRD), skenovací elektrónový mikroskop (SEM) a ďalšie zariadenia.

Zirkónový cieľový produkt Podrobnosti o zobrazení obrazu

Pure zr metal sputtering target supplier
Zirkónový cieľ
zr sputtering target company
Zirkónový cieľový kov