Tantalové terčesú široko používané v oblasti polovodičov. Medzi nimi je najbežnejšia aplikácia na prípravu zárodočných kryštálov polovodičov. Prostredníctvom procesov, ako je fyzikálne nanášanie pár, sa vrstva polovodičového materiálu nanesie na povrch tantalového terča a potom sa semeno naočkuje polovodičovým plátkom. Pripravený polovodičový materiál má výhody vysokej čistoty, nízkej hustoty defektov, dobrej rovnomernosti atď., A možno ho použiť na výrobu vysokovýkonných polovodičových zariadení.
Okrem prípravy polovodičových zárodočných kryštálov je možné tantalové terčíky použiť aj na prípravu iných polovodičových materiálov, ako je kremík, germánium, karbid kremíka atď. polovodičové prekurzory na reakciu a vytvorenie požadovaného polovodičového filmu.









